金蚀刻剂
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TFA
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GE-8148
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操作温度
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室温
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室温
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通风
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建议用通风橱
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建议用通风橱
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搅拌
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搅拌可加快蚀刻速率
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搅拌可加快蚀刻速率
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罐
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玻璃
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玻璃
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蚀刻速率,25℃
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28 Å /秒
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50 Å /秒
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组成
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液体中含KI-I2络合物
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液体中含KI-I2络合磷酸盐化合物
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PH(20℃)
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8.15±0.2
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密度(20℃)
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1.265±0.01
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蚀刻能力(g/加仑)
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100
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100
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光刻胶相匹配性
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阴,阳光刻胶
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阴,阳光刻胶
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冲洗
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蒸溜水,去离子水
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蒸溜水,去离子水
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废液处理
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按国家有关规定处理
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杂质最大含量
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(ppm)
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钠(Na)
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40
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氯和溴(CL)
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100
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铅(Pb)
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5
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铁(Fe)
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3
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硫(作为硫酸盐)
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50
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磷(作为磷酸盐)
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10
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操作温度
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室温
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通风
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通风橱
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搅拌
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搅拌加快蚀刻速率
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罐材
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聚丙烯
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蚀刻速率,25℃
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5-10 Å /秒
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蚀刻速率,60℃
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30 Å /秒
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组成
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含氰化物粉。使用前用水稀释(8盎司/加仑)
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蚀刻能力,60℃
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65×10-6英寸/2分
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冲洗
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水
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处理
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见下面
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GE-8110
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GE-8111
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PH
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7.9±0.1
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2.5±0.1
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密度(20℃)
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1.33±0.01
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1.15±0.01
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杂质
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PPM(最大)
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最大杂质含量PPM
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钠(Na)
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40
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氯和溴化物(Cl)
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100
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铅(Pb)
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5
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铁(Fe)
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3
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硫(作为硫酸盐)
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50
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磷(作为磷酸盐)
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10
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