微电子线路使用薄膜蚀刻剂
(制导体－电阻网路可选用的蚀刻剂)
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Al
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铝
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Al2O3
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三氧化二铝
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Co2Si
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硅化钴
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Cr
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铬
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Cr-CrO
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铬－氧化铬
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Cr-Si
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铬－硅
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Cr-SiO
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铬－氧化硅
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Cu
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铜
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GaAs
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砷化镓
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GaN
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氮化镓
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Ga2O3
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氧化镓
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GaP
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磷化镓
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Ge
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锗
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Au
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金
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In2O3
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氧化铟
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ITO
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铟锡氧化物
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InP
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磷化铟
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Fe2O3
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氧化铁
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Mo
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钼
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Nb/NbN/NbO
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铌/氮化铌/氧化铌
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Ni-Cr
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镍－铬
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Ni
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镍
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Pd
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钯
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Pt
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铂
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Si
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硅
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SiO
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一氧化硅
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SiO2
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二氧化硅
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Si3N4
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氮化硅
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Ag
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银
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Ta/Ta3N5/Ta2O5
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钽/氮化钽/氧化钽
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SnO
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氧化锡
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Ti
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钛
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Ti-W
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钛－钨
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W
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钨
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Polyimide
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聚酰亚胺
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低 k 残渣消除剂
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SEQUESTROX
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