TFM钼蚀刻和TFW钨蚀刻剂
|
TFM钼蚀刻剂
|
TFW钨蚀刻剂
|
外观
|
琥珀色水溶液
|
琥珀色水溶液
|
PH
|
10.0
|
8.0
|
稀释
|
用蒸馏水
|
用蒸馏水
|
可匹配光刻胶
|
阴性光刻胶:PKP(Transene)
KMER\KTFR\KPR
|
阴性和阳性光刻胶
|
冲洗
|
蒸馏水
|
蒸馏水
|
闪点
|
不可燃
|
不可燃
|
蚀刻速率
|
|
|
20℃
|
|
30 Å /秒(浸泡)
|
|
|
80 Å /秒(喷涂)
|
30℃
|
55 Å /秒
|
|
60℃
|
85 Å /秒
|
|
蚀刻能力
|
30g/加仑
|
64 g/加仑(10,000英寸2/5000 Å厚)
|