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六甲基二硅氮烷(HMDS)

说明
 
可供应浓度为100%、20%和10%的电子级六甲基二硅氮烷(HMDS)。HMDS可以促进光刻胶在二氧化硅以及其他难粘结物质表面上的粘结。
 
应用
 
在涂上光刻胶之前首先用旋转涂布法将其涂在硅片上。如果浓度较稀,再涂光刻胶之前可将其溶剂除去。Transene HMDS是一种高纯电子级产品,不需要进一步过滤。
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