铬蚀刻剂
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1020
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1020AC
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外观
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澄清,橙色
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澄清,橙色
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比重
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1.127—1.130
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1.127—1.130
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过滤
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0.2微米
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-------
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操作温度
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可变
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可变
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蚀刻速率,40℃
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40 Å/秒
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32 Å/秒
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贮存
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室温
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室温
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冲洗
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去离子水
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去离子水
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外观
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水,白色
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蚀刻速率(在25℃)
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14 Å/秒
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操作温度
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25-40℃
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冲洗
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用去离子水冲洗
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贮存
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室温
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蚀刻速率
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25℃时为800 Å/秒
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40℃时为2400 Å/秒
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蚀刻能力
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3mg铬/ml蚀刻剂
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操作温度
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25℃
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溶解性
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可溶于水
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贮存条件
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室温
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贮存寿命
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无限长
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外观
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橘黄色澄清液体
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PH(20℃)
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<1.0
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比重(20℃)
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1.103-1.105
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过滤
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0.1微米
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金属
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满足或优于SEMI标准
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外观
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淡橙色澄清液体
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PH(20℃)
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<1.0
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比重(20℃)
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1.090-1.095
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过滤
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0.2微米
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金属
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满足或超过SEMI标准
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