钛蚀刻剂
性质
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TFT
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TFTN
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外观
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澄清水溶液
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澄清水溶液
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PH
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1
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1
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闪点
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不可燃
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不可燃
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贮存
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室温
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室温
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有效期
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1年
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1年
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毒性
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强酸
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强酸
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操作
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蚀刻容器
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聚乙烯/聚丙烯
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聚乙烯/聚丙烯
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温度
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20~50℃
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70~85℃
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蚀刻速率
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25 Å/秒,20℃
50 Å/秒,30℃
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10 Å/秒,70℃
50 Å/秒,80℃
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冲洗
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水
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水
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*匹配光刻胶
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阴性和阳性
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阴性和阳性
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金属
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——
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除Al以外的大多数金属
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