NPD阴性光刻胶显影剂
产品
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二甲苯 : 斯托达德溶剂(Stoddard)
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NPD 4001
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NA
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NPD 4030
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100:0
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NPD 4032
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--
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NPD 4033
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1:2
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NPD 4040
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NA
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NPD 4050
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1:1
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PKPⅡ型显影剂
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NA
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溶液
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时间(秒)
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显影剂,二甲苯,斯托达德溶剂
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10 ~ 15
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冲洗,n-丁基乙酸酯
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10 ~ 15
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氮气干燥
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15 ~ 20
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溶液
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时间(秒)
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显影剂,二甲苯,斯托达德溶剂
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60 ~ 75
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冲洗,n-丁基乙酸酯
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20 ~ 30
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氮气干燥
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15 ~ 20
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