TRANSETCH — N
液体
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无色、无味
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沸点(释水)
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180℃
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比重,20℃
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1.757
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蚀刻速率,180℃:
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氧化铝
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120 Å/分
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氮化硅
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125 Å/分
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氮化镓
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80 Å/分
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二氧化硅
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1 Å/分
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硅
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1 Å/分
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