镍蚀刻剂
蚀刻剂
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TFB
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TFG
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操作温度
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25℃
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40℃
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蚀刻速率
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30 Å /秒
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50 Å /秒
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镍沉积法
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蒸发/阴极溅镀
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化学镀/电镀
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蚀刻能力
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270g/加仑
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典型膜厚
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1500 Å /5-50微英寸
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罐
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玻璃
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玻璃
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操作温度
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30-60℃
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罐
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玻璃
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冲洗
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水
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蚀刻速率,Ni
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3密耳/小时,40℃
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蚀刻速率,Ni-Fe
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400 Å /秒,50℃
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蚀刻速率,不锈钢
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45 Å /秒,250℃ AISI 316
105 Å /秒,130℃ AISI 316
500 Å /秒,45℃ AISI 304
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蚀刻速率,Fe2O3
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50 Å /秒,50℃
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蚀刻速率,Cu
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1密耳/分,40℃
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搅拌
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连续搅拌,中等速度
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