固体扩散剂
性质
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硼酸
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硼酐
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五氧化二磷
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分子式
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H3BO3
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B2O3
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P2O5
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熔点
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61.84
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64.69
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141.96
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蒸发热(K卡/克分子)
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--
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--
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22.7(P2O5)
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正四面体半径比
B/Si or P/Si
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0.75
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0.75
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0.93
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杂质浓度
(在锗中)
(在硅中)
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0.0104
0.045
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0.0104
0.045
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0.0120
0.050
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活化能(K卡/克分子)
(在锗中)
(在硅中)
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105
85
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105
85
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57
85
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指前因子扩散系数,Do(cm2/秒)
(在锗中)
(在硅中)
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1.6×109
10.5
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1.6×109
10.5
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2.5
10.5
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扩散常数(cm2/秒)
(在锗中)
(在硅中)
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8.7×10-15 @ 950℃
6.4×10-12 @ 1275℃
0.4×10-12 @ 850℃
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7.7×10-15@ 950℃
5.0×10-12@ 1235℃
8×10-11@ 900℃
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表面浓度(原子数/cm3)
(在硅中)
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8×1021 @ 950℃
1×1021@ 1275℃
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2.5×1021 @ 950℃
6×1020 @ 1235℃
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