二氧化硅(SiO2)蚀刻剂
外观
|
澄清液体
|
硝酸盐
|
无
|
比重
|
1.12
|
缓冲蚀刻能力
|
65mg,SiO2/ml
|
PH
|
5.0
|
蚀刻速率,20℃
|
800 Å /分
|
游离HF
|
105M
|
贮存
|
室温保存,在10℃以下会结晶析出
|
主要离子
|
HF2配体
|
重金属
|
0.5ppm
|
颜色
|
|
厚度
|
Å X 103
|
|
|
灰色、黄褐色、褐色
|
0.1
|
0.3
|
0.5
|
--
|
--
|
蓝色
|
0.8
|
1.5
|
3.0
|
4.9
|
6.9
|
紫色
|
1.0
|
2.7
|
4.7
|
6.5
|
--
|
绿色
|
1.9
|
3.3
|
5.2
|
7.2
|
--
|
黄色
|
2.1
|
3.7
|
5.6
|
7.5
|
--
|
橙色
|
2.2
|
4.0
|
6.0
|
--
|
--
|
红色
|
2.5
|
4.4
|
6.3
|
--
|
--
|
|
20℃
|
25℃
|
30℃
|
介电质材料
|
Å/秒
|
Å/秒
|
Å/秒
|
热生长 SiO2
|
0.87
|
1.22
|
1.72
|
PSG (6摩尔% P2O5)
|
1.85
|
2.47
|
3.35
|
蚀刻比率 (PSG/SiO2)
|
2.12
|
2.02
|
1.95
|
外观
|
澄清液体
|
比重
|
1.1
|
pH
|
5.0
|
重金属
|
< 1 ppm
|
蚀刻速率,25 °C
|
40 Å/秒
|
缓冲剂蚀刻能力
|
20 mgs. SiO2/mL.
|
操作温度
|
25℃
|
匹配光刻胶
|
阴性和阳性光刻胶
|
贮存
|
室温
|
外观
|
澄清液体
|
蚀刻时间
(秒)
|
SiO2 沉积层厚度
( Å )
|
反射的颜色
|
0
|
2150
|
橙黄
|
3
|
2100
|
黄
|
6
|
1900
|
绿
|
9
|
1700
|
绿-蓝
|
12
|
1500
|
蓝
|
15
|
1250
|
蓝-紫
|
20
|
1000
|
紫
|
25
|
900
|
紫-蓝
|
30
|
800
|
褐
|
35
|
500
|
棕黄
|
40
|
300
|
灰
|
45
|
100
|
灰-明亮
|
50
|
0
|
明亮
|
外观
|
澄清溶液
|
pH
|
5.5
|
操作温度
|
25℃
|
闪点
|
不可燃
|
溶解性
|
与水相混溶
|
蚀刻速率
|
1.5 Å/秒;90 Å/分
|
有效期
|
1 年
|
贮存
|
室温
|