砷化镓蚀刻剂
性质
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GA蚀刻剂100
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GA蚀刻剂200
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GA蚀刻剂300
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外观
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无色澄清液体
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无色澄清液体
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无色澄清液体
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PH
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<2
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>10
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6-7
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贮存温度
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40-50℉
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40-50℉
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40-50℉
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有效期
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3个月
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2个月
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3个月
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蚀刻速率
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100nm/秒,40℃
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20 Å /秒,5℃
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22 Å /秒,25℃
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化学
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硫酸-过氧化物
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氢氧化物-过氧化物
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柠檬酸-过氧化物
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