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砷化镓蚀刻剂

砷化镓蚀刻剂
 
说明
 
砷化镓蚀刻剂可以对砷化镓以三元化合物如砷化镓铟和砷化铝镓等进行各向同性及各向异性的蚀刻。和二氧化硅光掩膜联用可以得到清晰和均匀的蚀刻效果。
共提供三个蚀刻剂体系。其中GA蚀刻剂100是快速的各项同性蚀刻剂。GA蚀刻剂200是可最佳控制的碱性各项异性蚀刻剂。GA蚀刻剂300具有更大的通用性、更宽的光刻胶匹配性的更长的贮存时间限制。所有GA蚀刻剂都应在温度较低的条件下贮存。
 
性质
 
性质
GA蚀刻剂100
GA蚀刻剂200
GA蚀刻剂300
外观
无色澄清液体
无色澄清液体
无色澄清液体
PH
2
10
6-7
贮存温度
40-50
40-50
40-50
有效期
3个月
2个月
3个月
蚀刻速率
100nm/秒,40℃
20 Å /秒,5℃
22 Å /秒,25℃
化学
硫酸-过氧化物
氢氧化物-过氧化物
柠檬酸-过氧化物
 
应用
 
GA蚀刻剂可用于Pyrex,HDPE,聚四氟乙烯或其他罐装材料。表面光滑程度由搅拌速度控制。其中GA蚀刻剂100是由硫酸/过氧化氢组成,而GA蚀刻剂200是氢氧化铵和过氧化氢的混合物,GA蚀刻剂300用温和的柠檬酸-过氧化氢配方以达到更为通用的目的。
Transene公司的专利稳定剂的使用使得本产品比一般的过氧化物产品能在更长时间期限内获得均匀的蚀刻效果。
所有GA蚀刻剂皆由高纯材料制成,其原料为ACS试剂和1018莫姆·cm电阻的去离子水管。
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